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“杜董,想不到你对单晶材料这么了解呀?”
张君正对杜建德开口问道。
“以前我在金陵市那边的半导体材料工厂里面工作过一段时间,这家工厂里面也生产锗单晶材料,不过那时候这家工厂里面加工出来的锗单晶直径只有十个里面,长度只有二十多厘米,加工出来的锗单晶片上面良率也很低,表面上基本上都有裂纹和气孔,小角晶界和位错排长度有时候能过一两公分,需要重新进行退火处理才能达标。”
杜建德此时看着眼前这片硅锗合金晶圆片激动地说道:“你们加工出来的这种硅锗合金晶圆片根本就没有这些缺陷,品质实在是太高了!”
张君正笑着说道:“我们兴华精工科技公司对硅锗合金材料特性研究得很透彻,再加上我们设计研制的设备性能很高,所以制备出来的单晶棒材料本身品质是很高的。”
他嘴上是这么解释的,实际上这种硅锗合金材料能有如此高的品质更多地是依靠设备里面的控制算法软件实现的。
张君正设计构思的这种融合了区熔技术和定向凝固技术高温度梯度定向凝固设备其实还是存在着导电熔体对流很强的情况,如果控制不好的话,同样的设备加工出来的晶体材料会也会存在不小性能差异。
不过这种核心机密的东西他自然是不会向外界透露出去的。
杜建德随后又看了兴华精工科技公司设计开出来的这种多晶硅合金材料,非常好奇地问张君正为什么要设计开这种材料。
“现在晶圆生生产线上用来制造晶体管栅极用的是多晶硅材料,不过这种多晶硅材料导电性不如金属,虽然国内这些芯片大厂利用掺杂的方式往多晶硅材料里面掺杂钨、钛、钴、镍这些元素来制备出多晶硅合金,不过这种技术方案技术潜力空间并不是特别好,随着制程工艺的升级,这种材料制作的栅极就会出现很问题。”
张君正开口说道:“将多晶硅完全金属化的技术方案国外之前并不是没有提出来过,不过之前这些国外半导体材料产商很难控制金属硅化物的材料成分,制备出来的材料没办法做到低电压,所以放弃了这条技术路线。”
“现在我们设计开出了这种新型的高合金化的多晶硅材料,这种材料具有很高的介电系数,能够储存更多的电荷数,提升晶体管性能的同时还能大幅减少漏电量。”
张君正一脸自豪地说道:“目前这种高合金化的多晶硅材料已经开始在水木大学微电子所和华芯国际公司内部进行测试验证,目前获得的实验数据是很好的。”
杜建德此时看向张君正说道:“除了硅锗合金和多晶硅合金这些半导体材料,你们研制的这种先进精炼炉设备能不能制备出镍基高温单晶合金材料?”
“镍基高温单晶合金材料?”
张君正沉默了几秒钟后开口说道:“我们兴华精工公司这边设计研制的这种设备是为半导体材料专门开的,并不是很适合直接用来炼制这种镍基高温单晶合金材料。如果安东动力总集团方面着急想要的,我们倒是可以为你们专门设计研制这样的设备,最好能给我们一些相关的样品,这样我们才好按照你们的要求设计开这种类型的工艺技术流程。”
“也就是说你对设计开出这种镍基高温合金材料有把握?”
杜建德惊喜地问道。
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